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板级封装点胶机
面板级扇出型封装(FOPLP)

性能优势

  • 大幅面真空吸附平台:板级封装的产品尺寸较大(约510*515mm),且对平面度要求极高。希盟采用高精度、多伺服控制,平面度可达±20μm,极大程度抑制翘曲问题,并规避裂纹、划痕等瑕疵。

  • 平台精准控温系统:可控温的升降平台,加热温度可达150℃,64点位测量,温控精度可达≤±2℃,一致精准。

  • 高精高速运动控制模块:采用Y轴双驱直线电机,速度可实现最高2000mm/s、最大加速度2.0g,高速运动前提下可将定位精度控制在≤±2μm@3σ。

  • 双动子运动模组效率倍增:采用双动子模组分别搭载高精相机,扩展成两个独立的单元。单双阀兼独立/协同点胶,在保证点胶精度的前提下,可将效率提升一倍。

  • 高速微纳级点胶喷射阀:搭载希盟自研的夸克高精密快拆压电喷射阀实施点胶,高达0.2nl级别的胶量控制,满足严格的成膜厚度与良率,1000HZ的喷射频率,确保高效生产。
  • 智能控制化模块简化操控:基于算法的智能点胶控制系统,可根据实际生产自动调整点胶参数,实现简化高效的全自动点胶
  • 百级无尘洁净生产:板级封装对生产制造的环境要求极为苛刻,希盟采用高强度镜面不锈钢无尘封板作为外罩隔离外部粉尘,并搭载风速>0.45m/s的FFU进行设备内除尘,内部使用等离子风棒,对工作区域进行静电驱除。三重措施保证百级无尘,保障芯片洁净度。
  • AOI检测:先进的全自动光学检测系统(AOI),实现微米级自动检测及定位,对细微瑕疵几近零漏检,确保产品良率>99.5

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